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前言

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范Codefordesignofelectronicindustr......

1、總則

1總則1.0.1為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并......

2、術(shù)語

2術(shù)語2.0.1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒......

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求

3電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求3.1一般規(guī)定3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和......

4、總體設(shè)計(jì)

4總體設(shè)計(jì)4.1位置選擇和總平面布置4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定：1應(yīng)布置......

5、工藝設(shè)計(jì)

5工藝設(shè)計(jì)5.1一般規(guī)定5.1.1潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)預(yù)......

5、工藝設(shè)計(jì)

5工藝設(shè)計(jì)5．1一般規(guī)定5．1．1潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)預(yù)......

6、潔凈建筑設(shè)計(jì)

6潔凈建筑設(shè)計(jì)6.1一般規(guī)定6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生......

7、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)

7空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)7.1一般規(guī)定7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工......

8、給水排水設(shè)計(jì)

8給水排水設(shè)計(jì)8.1一般規(guī)定8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)......

9、純水供應(yīng)

9純水供應(yīng)9.1一般規(guī)定9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)......

10、氣體供應(yīng)

10氣體供應(yīng)10.1一般規(guī)定10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓......