15 微振控制

　　15.1 一般規定

　　15.1.1 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。

　　15.1.2 設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：

　　1 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響;

　　2 設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計;

　　3 對設有精密設備、儀器的潔凈室(區)有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施;

　　4 潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。

　　15.2 容許振動值

　　15.2.1 微振動控制設計應根據精密儀器、設備的特性，采取綜合隔振措施，并應滿足容許振動值的要求。

　　15.2.2 精密設備、儀器的容許振動值物理量的表述，應采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

　　15.2.3 精密儀器、設備的容許振動值，應由制造商提供。無法確定時，可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。

　　15.3 微振動控制設計

　　15.3.1 潔凈廠房的微振動控制設計，應按下列階段進行微振動測試分析。

　　1 場地環境振動測試及分析;

　　2 潔凈廠房建筑結構振動特性測試及分析;

　　3 精密設備、儀器安裝地點環境振動測試及分析;

　　4 微振動控制的最終測試及分析。

　　15.3.2 有微振動控制要求的潔凈室(區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：

　　1 建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度;

　　2 應設置獨立的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔;

　　3 主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。

　　15.3.3 有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.

　　1 宜采用隔振臺(座);

　　2 應選用剛度適當的隔振器，

　　3 通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

　　15.3.4 潔凈室內精密設備、儀器的被動隔振措施的設計，應符合下列要求：

　　1 隔振臺(座)應具有足夠的剛度;

　　2 應采用低剛度隔振設施;

　　3 隔振系統各向阻尼比不應小于0.15;

　　4 隔振臺(座)應采取傾斜校正措施;

　　5 隔振設施不應影響氣流流型，

　　6 當采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統應進行凈化處理，并應達到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。