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12、電氣設計
12電氣設計12.1配電12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國......
11、化學品供應
11化學品供應11.1一般規定11.1.1潔凈廠房內化學品的儲存、輸送方式，應根據產品生產工藝和化學品的品質、......
10、氣體供應
10氣體供應10.1一般規定10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓......
9、純水供應
9純水供應9.1一般規定9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結......
8、給水排水設計
8給水排水設計8.1一般規定8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內，并宜敷設在通行的技術......
7、空氣凈化和空調通風設計
7空氣凈化和空調通風設計7.1一般規定7.1.1潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工......
6、建筑設計
6潔凈建筑設計6.1一般規定6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生......
5、工藝設計
5工藝設計5.1一般規定5.1.1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預......
4、總體設計
4總體設計4.1位置選擇和總平面布置4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置......
3、電子產品生產環境設計要求
3??電子產品生產環境設計要求3.1??一般規定3.1.1??電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要......
2、術語
2??術????語2.0.1??潔凈室??clean?room空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少......
1、總則
1??總????則1.0.1??為在電子工業潔凈廠房設計中，做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能......
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